噪声传感器

东南大学硕士学位论文摘要利用成熟的集成电路（ＩＣ）ＣＭＯＳ工艺及其新近发展的ＭＥＭＳ工艺能够在硅片上利用后处理制作各种机械结构，并为传感器和处理电路的片上集成，实现最终的片上系统（ＳＯＣ）提供了现实依据。ＣＭＯｓ兼容硅热流量风速风向传感器利用成熟的ｃＭ０ｓ工艺而实现传感器的低成本，同时能够通过片上控制电路和微弱信号测量电路与传感器结构的集成而可能实现智能化的传感器。基于硅的传感器灵敏度非常低，输出信号极其微弱，所有这些弱点都必须通过片上集成电路来弥补。本文针对传感器的工作原理...